INFICON,瑞士INFICON,INFICON氣體分析,INFICONTranspector APX 多壓力,INFICON泄漏檢測器,INFICONLDS3000,INFICON制冷劑回收機(jī),INFICONVortexDual,INFICON射頻傳感技術(shù),INFICONSion 電弧檢測器,INFICON真空計和控制器,INFICONTPG36x,INFICON真空元件,INFICON帶翼形螺母的夾緊環(huán)、INFICON皮拉尼真空計、INFICON電容薄膜真空計、INFICON熱電離真空計、INFICON氦氣檢漏儀、INFICON冷媒檢漏儀、INFICON檢漏儀、INFICON殘余氣體分析儀、INFICON便攜式氣質(zhì)聯(lián)用儀、INFICON微型氣相色譜儀、INFICON膜厚控制設(shè)備、INFICON真空控制器、INFICON氦吸槍檢漏儀、INFICON雙技術(shù)復(fù)合真空計、INFICON電池專用檢漏儀、INFICON便攜式氣體分析儀、INFICON薄膜沉積控制器、INFICON石英晶體微天平、INFICON真空測量傳感器、INFICON工業(yè)氣體分析儀、INFICON真空系統(tǒng)控制軟件、INFICON冷陰潘寧真空規(guī)、INFICON反磁控皮拉尼真空計、INFICON熱陰離子真空規(guī)、INFICON真空計控制器、INFICON真空計顯示器、INFICON增強(qiáng)皮拉尼真空計、INFICON氦質(zhì)譜檢漏儀、INFICON本土化便攜式檢漏儀、INFICON TFC膜厚控制系列、INFICON HLD6000高精度冷媒檢漏儀、INFICON Proteus LIMS實驗室信息管理系統(tǒng)、INFICON冷陰電離真空規(guī)、INFICON真空儀表、INFICON B-A型皮拉尼真空計、INFICON真空測量探頭、INFICON工業(yè)級氦氣檢漏系統(tǒng)、INFICON定制化氣體檢測算法軟件、INFICON本土供應(yīng)鏈配套真空配件、INFICON OLED面板鍍膜監(jiān)測設(shè)備、INFICON鈣鈦礦光伏工藝控制儀器

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INFICON公司介紹：

INFICON總部位于瑞士巴特拉格斯，品牌溯源可至1964年，集團(tuán)正式整合成立于2000年6月，成立至今已推出超100款創(chuàng)新產(chǎn)品，是精密分析、測量與控制儀器供應(yīng)商。

INFICON集團(tuán)核心產(chǎn)品線覆蓋精密儀器儀表、關(guān)鍵傳感器技術(shù)、工業(yè)4.0制程控制軟件三大方向，代表產(chǎn)品包括氦氣檢漏儀、Proteus LIMS系統(tǒng)、XTC900鍍膜控制設(shè)備、高精度真空計、有毒化工原料分析儀等。

INFICON產(chǎn)品覆蓋多個高要求行業(yè)：空調(diào)制冷、汽車制造領(lǐng)域的氣體泄漏檢測、半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池、光學(xué)器件的真空鍍膜制程管控、泛真空技術(shù)延伸至生命科學(xué)、航空航天、食品包裝、熱處理、激光切割等領(lǐng)域、應(yīng)急安保、環(huán)境監(jiān)測場景下的有毒有害化工物質(zhì)快速分析。進(jìn)口INFICON真空計BCG450B-A檢漏儀Modul100

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INFICON產(chǎn)品類型：

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殘余氣體分析儀系列

Transpector XPR 3+殘余氣體分析儀，質(zhì)量位置穩(wěn)定性在24小時內(nèi)小于0.1amu，法拉第杯模式下靈敏度可達(dá)24E-7amps/Torr，最小可檢測分壓在法拉第杯模式下為1E-9Torr，電子倍增器模式下可低至6E-12Torr，兩種模式下的最大工作壓力均為20mTorr，線性操作區(qū)間的最大工作壓力為10mTorr。設(shè)備支持全譜段氣體成分實時分析，適配半導(dǎo)體真空鍍膜、科研實驗室的痕量氣體檢測場景，整機(jī)防護(hù)等級達(dá)到IP40，可在工業(yè)車間的常規(guī)電磁干擾環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，連續(xù)工作時長可達(dá)50000小時以上。

Transpector MXP殘余氣體分析儀，質(zhì)量數(shù)覆蓋范圍為1amu至200amu，掃描速度最高可達(dá)1000amu/s，電子倍增器增益調(diào)節(jié)范圍為10^3至10^7，基線噪聲水平低于0.01cps，支持多通道同步數(shù)據(jù)采集與存儲，內(nèi)置100余種常見工業(yè)氣體的特征譜庫，可自動完成氣體成分識別與濃度換算。設(shè)備適配高潔凈度的半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)線，可實時監(jiān)測真空腔體內(nèi)的雜質(zhì)氣體含量，幫助產(chǎn)線將鍍膜良率提升3%至5%，整機(jī)支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)通信協(xié)議，可直接接入工廠的MES系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)上傳。

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真空測量儀器系列

BPG400 DN25KF 354-490真空計，測量范圍覆蓋5×10^-10 mbar至大氣壓，在10^-8至10^-2 mbar的壓力區(qū)間內(nèi)測量重復(fù)性可達(dá)±5%，采用DN25 ISO-KF法蘭連接，可選配RS485、RS232、EtherCAT數(shù)字通信接口。設(shè)備融合了貝阿德-阿爾珀特真空計與皮拉尼真空計的雙重功能，內(nèi)置長壽命氧化釔銥絲，搭載皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)機(jī)制，符合ROHS環(huán)保規(guī)范，整機(jī)體積緊湊，安裝占用空間僅為傳統(tǒng)分體式真空計的60%，可廣泛適配從低真空到超高真空的各類工業(yè)真空場景。

CDG025D電容薄膜真空計，測量量程分為0.1mbar、1mbar、10mbar、100mbar、1000mbar五個檔位，全量程內(nèi)測量精度優(yōu)于±0.2%FS，溫度漂移系數(shù)低于0.01%FS/℃，工作環(huán)境溫度覆蓋-10℃至60℃，采用全金屬密封結(jié)構(gòu)，可耐受150℃的原位烘烤工藝。設(shè)備不受氣體種類影響，對腐蝕性特殊氣體也能保持穩(wěn)定測量精度，適配光伏電池制造、特種材料熱處理等對真空測量穩(wěn)定性要求場景，平均工作時長超過80000小時。

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氦氣檢漏儀系列

HLD MD3000氦氣檢漏儀，最小可檢測泄漏率低至1×10^-12 mbar·L/s，最大測試壓力可達(dá)1MPa，響應(yīng)時間小于1秒，內(nèi)置自動校準(zhǔn)功能，支持本地觸控操作與遠(yuǎn)程上位機(jī)控制，整機(jī)移動輪設(shè)計適配車間內(nèi)多工位流轉(zhuǎn)使用。設(shè)備搭載智能檢漏算法，可自動排除環(huán)境背景氦氣的干擾，將誤報率降低至0.1%以下，適配汽車零部件、制冷壓縮機(jī)等工件的批量檢漏場景，單小時可完成超過120件工件的檢漏測試，大幅提升產(chǎn)線質(zhì)檢效率。進(jìn)口INFICON真空計BCG450B-A檢漏儀Modul100

XL3000flex氦氣檢漏儀，支持真空模式與吸槍模式雙工況切換，真空模式下最小檢漏率為5×10^-13 mbar·L/s，吸槍模式下最小檢漏率為1×10^-7 mbar·L/s，內(nèi)置大容量氦氣存儲罐，單次充氦可連續(xù)工作超過8小時，設(shè)備配備可視化操作界面，可實時顯示泄漏位置與泄漏率數(shù)值，適配新能源汽車動力電池、氫能源閥門等高壓部件的檢漏需求，整機(jī)防護(hù)等級達(dá)到IP54，可在復(fù)雜的工業(yè)車間環(huán)境下長期穩(wěn)定運(yùn)行。

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制冷劑檢漏儀系列

TEK-Mate制冷劑檢漏儀，可檢測所有常見CFC、HCFC、HFC、HFO類制冷劑，最小檢測靈敏度可達(dá)3g/年，電池續(xù)航時間連續(xù)工作超過10小時，預(yù)熱時間僅需2秒，內(nèi)置傳感器故障自診斷功能，傳感器壽命可達(dá)300小時以上。設(shè)備機(jī)身重量僅為0.5kg，搭配柔性探桿可深入空調(diào)機(jī)組的狹小縫隙中完成檢漏，適配暖通空調(diào)售后維修、制冷設(shè)備生產(chǎn)線質(zhì)檢等場景，操作門檻極低，普通運(yùn)維人員經(jīng)過10分鐘培訓(xùn)即可熟練使用，是制冷行業(yè)應(yīng)用便攜檢漏設(shè)備之一。

D-TEK 3制冷劑檢漏儀，支持CO?等新型環(huán)保制冷劑的高精度檢測，最小檢測靈敏度可達(dá)1g/年，響應(yīng)時間小于0.5秒，內(nèi)置三色LED泄漏強(qiáng)度指示燈，搭配蜂鳴器隨泄漏量同步調(diào)整提示頻率，設(shè)備搭載可更換式傳感器模塊，無需返廠即可完成傳感器更換維護(hù)，整機(jī)符合*主流地區(qū)的防爆安全標(biāo)準(zhǔn)，適配商用制冷系統(tǒng)、冷鏈物流設(shè)備的精密檢漏場景，可幫助運(yùn)維人員快速定位微小泄漏點(diǎn)，減少制冷劑損耗超過30%。

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電池電解液檢漏儀系列

LDS3000電解液檢漏儀，可檢測鋰離子電池內(nèi)部的微量電解液泄漏，最小可檢測泄漏率低至1×10^-9 mbar·L/s，測試節(jié)拍小于3秒，支持多工位并行檢測，內(nèi)置自動上下料對接接口，可直接集成到鋰電池自動化產(chǎn)線中。設(shè)備采用非接觸式檢測方案，不會對電池外殼造成任何損傷，檢測過程無污染無殘留，適配方形鋰電池、軟包鋰電池等各類動力電池的密封性能檢測，檢測準(zhǔn)確率可達(dá)99.95%，大幅降低動力電池的后期漏液故障風(fēng)險。

HLD BR200電池專用檢漏儀，采用氦氣背壓法檢測工藝，可對密封后的電池完成全檢，最大可適配直徑100mm、高度200mm的各類電池工件，檢測壓力調(diào)節(jié)范圍為0.1MPa至0.8MPa，設(shè)備內(nèi)置泄漏數(shù)據(jù)統(tǒng)計系統(tǒng)，可自動生成質(zhì)檢報表并上傳至產(chǎn)線數(shù)據(jù)庫，適配消費(fèi)類鋰電池、儲能電池的批量生產(chǎn)質(zhì)檢場景，設(shè)備的維護(hù)周期長達(dá)12個月，大幅降低產(chǎn)線的運(yùn)維成本。

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鍍膜控制設(shè)備系列

XTC900鍍膜厚度控制器，厚度控制分辨率可達(dá)0.1?，沉積速率控制精度優(yōu)于±0.5%，支持最多8層不同鍍膜材料的程序編輯，內(nèi)置100余種常見鍍膜材料的參數(shù)庫，可實時顯示鍍膜厚度、沉積速率、剩余鍍膜時間等關(guān)鍵參數(shù)。設(shè)備適配光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓的真空鍍膜工藝，可將鍍膜厚度的一致性提升至±1%以內(nèi)，大幅提升光學(xué)器件的生產(chǎn)良率，整機(jī)支持工業(yè)以太網(wǎng)通信，可直接接入真空鍍膜機(jī)的控制系統(tǒng)完成閉環(huán)控制。

SQC310鍍膜控制器，最多支持3個獨(dú)立石英晶振傳感器切換工作，傳感器使用壽命延長3倍以上，厚度測量范圍覆蓋1?至9999μm，適配金屬膜、介質(zhì)膜、化合物膜等各類鍍膜場景，設(shè)備機(jī)身采用緊湊型設(shè)計，可直接安裝在鍍膜機(jī)的控制柜內(nèi)部，適配中小型鍍膜設(shè)備的升級改造需求，操作界面簡潔直觀，工藝人員可快速完成鍍膜程序的編寫與調(diào)試。

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MEMS皮拉尼真空計系列

PPG550皮拉尼真空計，基于優(yōu)良MEMS微機(jī)電傳感器技術(shù)，測量范圍覆蓋1×10^-6 mbar至1333 mbar，全量程內(nèi)測量重復(fù)性優(yōu)于±8%，支持8-pin工業(yè)接口輸出，適配物理氣相沉積、質(zhì)譜儀前端壓力監(jiān)測、真空腔體氣體回填等場景。設(shè)備無傳統(tǒng)皮拉尼傳感器的熱絲損耗問題，抗污染能力大幅提升，可在含微量工藝粉塵的工業(yè)真空環(huán)境下長期穩(wěn)定工作，整機(jī)防護(hù)等級IP40，適配各類工業(yè)真空設(shè)備的集成安裝需求，平均工作時長可達(dá)60000小時以上。

PPG570高精度MEMS真空計，測量范圍擴(kuò)展至5×10^-7 mbar至2000 mbar，在10^-3 mbar至1000 mbar區(qū)間內(nèi)測量精度優(yōu)于±3%，搭載EtherCAT實時工業(yè)通信接口，數(shù)據(jù)刷新頻率可達(dá)1kHz，支持多設(shè)備同步組網(wǎng)測量。設(shè)備內(nèi)置溫度自動補(bǔ)償模塊，在-20℃至70℃的寬溫環(huán)境下漂移量低于0.02%FS/℃，適配半導(dǎo)體優(yōu)良制程、特種材料真空燒結(jié)等對壓力測量響應(yīng)速度要求場景，可直接接入產(chǎn)線的實時控制系統(tǒng)完成閉環(huán)調(diào)節(jié)。進(jìn)口INFICON真空計BCG450B-A檢漏儀Modul100

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雙技術(shù)真空計系列

BPG552熱電離真空計，融合Bayard-Alpert熱電離傳感器與經(jīng)典皮拉尼傳感器，測量范圍覆蓋5×10^-10 mbar至1000 mbar，雙燈絲設(shè)計大幅延長傳感器使用壽命，測量重復(fù)性在全量程內(nèi)優(yōu)于±6%。設(shè)備支持模擬量輸出、RS232C串行接口與EtherCAT通信，可與INFICON VGC50x系列控制器直接配套使用，向后兼容前代BPG402型號，符合ROHS環(huán)保規(guī)范，適配半導(dǎo)體工藝壓力監(jiān)測、工業(yè)鍍膜產(chǎn)線全區(qū)間真空測量等場景，支持付費(fèi)延長保修期服務(wù)。

BPG562超高真空雙技術(shù)真空計，測量下限延伸至2×10^-11 mbar，熱電離傳感器的靈敏度提升40%，內(nèi)置自動除氣功能，可在不拆機(jī)的情況下完成傳感器腔體清潔，避免工藝殘留雜質(zhì)影響測量精度。設(shè)備支持150℃原位烘烤，適配超高真空科研實驗、航天部件真空模擬測試等場景，整機(jī)采用全金屬密封法蘭連接，漏率低于1×10^-11 mbar·L/s，杜絕外部氣體滲入影響真空環(huán)境。

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便攜式氣體分析儀系列

Hapsite ER便攜式氣質(zhì)聯(lián)用儀，質(zhì)量數(shù)覆蓋范圍為1amu至500amu，檢測限可達(dá)ppb級別，單次樣品分析周期小于3分鐘，內(nèi)置可充電鋰電池，連續(xù)戶外工作時長超過8小時。設(shè)備搭載內(nèi)置氣相色譜分離模塊，可在復(fù)雜混合氣體環(huán)境下精準(zhǔn)識別上百種有毒有害化工物質(zhì)，適配應(yīng)急安?，F(xiàn)場檢測、環(huán)境空氣污染物溯源等場景，整機(jī)配備便攜防護(hù)箱，可承受戶外復(fù)雜路況下的顛簸沖擊。

MicroGC Fusion微型氣相色譜儀，搭載4路獨(dú)立分析通道，每通道分析周期小于1分鐘，總重量僅2.8kg，內(nèi)置氫氣發(fā)生器無需外接載氣氣源。設(shè)備可同時完成多組分氣體的并行快速分析，適配石油化工現(xiàn)場氣體組分檢測、半導(dǎo)體特氣純度校驗等場景，分析結(jié)果的相對偏差小于2%，支持藍(lán)牙無線數(shù)據(jù)傳輸，可直接將檢測結(jié)果同步至移動終端完成數(shù)據(jù)歸檔。

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模塊化真空控制器系列

VGC501單通道真空控制器，最多可接入1臺真空計設(shè)備，支持3.5英寸觸控顯示屏實時顯示壓力數(shù)值，內(nèi)置10組自定義壓力閾值繼電器輸出，可直接聯(lián)動真空系統(tǒng)的泵組、閥門完成自動啟?？刂?。設(shè)備支持多語言操作界面，適配不同地區(qū)的產(chǎn)線操作人員使用，適配中小型真空爐、實驗室真空設(shè)備的自動化控制場景，安裝方式支持標(biāo)準(zhǔn)DIN導(dǎo)軌安裝，占用控制柜空間僅為傳統(tǒng)控制器的50%。

VGC503三通道真空控制器，最多可同時接入3臺不同類型的真空計，支持多區(qū)間壓力聯(lián)動邏輯編程，內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲模塊可自動保存長達(dá)1年的壓力歷史數(shù)據(jù)。設(shè)備支持EtherNet/IP工業(yè)協(xié)議，可直接接入工廠MES系統(tǒng)完成數(shù)據(jù)上傳與遠(yuǎn)程監(jiān)控，適配大型半導(dǎo)體鍍膜產(chǎn)線、多腔體真空系統(tǒng)的集中管控場景，大幅降低產(chǎn)線人工巡檢的工作量。

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Transpector APX 多壓力

實時較小化廢品并較大化產(chǎn)量

INFICON Transpector APX 仍然是半導(dǎo)體和顯示器工藝監(jiān)控領(lǐng)域市場殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 了解半導(dǎo)體和顯示器客戶有獨(dú)特的需求，較新版本的 Transpector APX 可提供更大的靈活性以滿足特定應(yīng)用要求，同時保持行業(yè)測量速度和靈敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導(dǎo)體工藝的理想 RGA 工藝監(jiān)控器。

下一代 Transpector APX 多壓力進(jìn)樣口系統(tǒng)專為適應(yīng)容易產(chǎn)生顆?；蛲繉拥墓に嚮瘜W(xué)而設(shè)計，如 ALD 或 PECVD。這允許持續(xù)監(jiān)控以捕獲所有關(guān)鍵工藝步驟的數(shù)據(jù)點(diǎn)。此外，HexBlock 進(jìn)樣口配有 INFICON 專有涂層，可抵抗腐蝕性氣體，這對于腔室清潔端點(diǎn)監(jiān)控應(yīng)用至關(guān)重要。

優(yōu)點(diǎn)

特定應(yīng)用平臺設(shè)計可延長 ALD 或 CVD 工藝的使用壽命，從而實現(xiàn)較佳的晶圓和面板保護(hù)以及工藝優(yōu)化

ALD 測量速度超過每秒 550 個數(shù)據(jù)點(diǎn)

由于采用高性能泵送系統(tǒng)，工廠占地面積減少了 30%，并且安裝更加容易

可配置 HexBlock™，采用 INFICON 專有涂層，較多可配備三個壓力入口，可耐受嚴(yán)酷的腐蝕性化學(xué)物質(zhì)

自動校準(zhǔn)可確保傳感器與傳感器之間以及工具與工具室匹配的長期數(shù)據(jù)可靠性和準(zhǔn)確性

Transpector APX 與 FabGuard ®軟件集成并得到 INFICON 首級應(yīng)用專家的支持后，將成為過程監(jiān)控和診斷工具

耗材

969-800-G1S：APX CIS 鎢絲套件 金色

969-800-G2S：APX CIS 涂層燈絲套件 GOLD

969-801-G1S：APX CIS 鎢離子源套件 GOLD

969-801-G2S：APX CIS 鎢離子源套件（帶陽極襯里）GOLD

969-801-G3S：APX CIS 涂層離子源套件 GOLD

969-801-G4S：APX CIS 涂層離子源套件（帶陽極襯里）GOLD

961-707-G1：電子倍增器更換套件

923-418-G2：兩級泵更換隔膜套件

進(jìn)口INFICON真空計BCG450B-A檢漏儀Modul100

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泄漏檢測器

LDS3000

緊湊設(shè)計，實現(xiàn)較高性能

較高的精度和可重復(fù)性以及較短的循環(huán)時間使 LDS3000 成為真空泄漏檢測系統(tǒng)的選擇。它擁有緊湊性，確保無縫集成，安裝工作量和空間要求較小。使用各種現(xiàn)代現(xiàn)場總線系統(tǒng)增強(qiáng)您的設(shè)置，進(jìn)一步優(yōu)化您的操作。LDS3000也可用作LDS3000 AQ ，用于累積系統(tǒng)。LDS3000 產(chǎn)品系列是自動化測試系統(tǒng)較通用的解決方案。

INFICON 還為幾乎所有應(yīng)用提供各種校準(zhǔn)測試泄漏。為了簡化和加快訂購流程，請使用 訂購表為測試系統(tǒng)定制校準(zhǔn)泄漏。

EcoBoost 功能：更快、更高效、更低成本

獨(dú)特的 EcoBoost 功能使 LDS3000 能夠檢測出較小的泄漏，即使在高且不斷降低的示蹤氣體背景水平下也是如此。由于出色的儀器質(zhì)量可實現(xiàn)極其精確、可重復(fù)和線性的測量，智能算法可以高精度地預(yù)測示蹤氣體背景的降低。

借助 EcoBoost，LDS3000 可以在測試周期的早期檢測到泄漏，并且不會錯過小泄漏。EcoBoost 還可以使用更小、更節(jié)能的泵并減少氦氣消耗。

特征

緊湊的設(shè)計允許個性化、定制地集成到泄漏檢測系統(tǒng)中

通過多種模擬和數(shù)字接口實現(xiàn)通信多樣性

顯著改善布線

新的程序可以在 20 秒內(nèi)校準(zhǔn) LDS3000 泄漏檢測器。

優(yōu)點(diǎn)

緊湊設(shè)計，可快速輕松集成

可靠性能

市場上較高的精度和重復(fù)性

周期時間方面的市場：在不到 1 秒的時間內(nèi)快速檢測高達(dá) 1 x 10 -11 mbar l/s 的泄漏率

PROFIBUS 接口可簡化連接和互操作性、遠(yuǎn)程訪問并提高數(shù)據(jù)傳輸效率。

數(shù)字接口，包括RS232、RS485、USB

多種模擬接口

停機(jī)時間較短，維護(hù)要求減少

校準(zhǔn)時間快，通常約為 20 秒

可選觸摸屏顯示

典型應(yīng)用

蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)

電池外殼

電池組托盤和蓋子

安全氣囊氣體發(fā)生器和點(diǎn)火器

閥門

剎車管路、燃油管路

液壓元件

內(nèi)燃機(jī)

規(guī)格

氦氣“ULTRA"模式的較小可檢測泄漏率: <1E-11 毫巴·升/秒

氦氣“FINE"模式的較小可檢測泄漏率: <5E-11 毫巴·升/秒

氦氣“GROSS"模式的較小可檢測泄漏率: <1E-9 毫巴·升/秒

氦氣“嗅探器"模式的較小可檢測泄漏率: <1E-7 毫巴·升/秒

測量單位: 毫巴·升/秒、帕斯卡·米3/秒、大氣壓厘米3、克/年、ppm

較大入口壓力“ULTRA"模式: 0.2 毫巴

較大入口壓力“FINE"模式: 0.9 毫巴

較大入口壓力“GROSS"模式: 18 毫巴

響應(yīng)時間: <1 秒

數(shù)字輸入/輸出（如果與 IO1000 模塊一起使用）: 10 個輸入/8 個輸出

控制輸入: 五個，較大 35 (PLC 兼容)

離子源: 2 個釔/銥長壽命陰極（3 年保修）

線性/對數(shù)記錄器輸出: 五個，0-10

串行接口（帶 IO1000/BM1000）: RS232、RS485、現(xiàn)場總線

尺寸（長 x 寬 x 高）: 330 x 240 x 280 毫米 (13 x 9.45 x 11.1 英寸)

環(huán)境溫度范圍: 10 - 45 ℃ (50 - 113 ℉)

真空連接: DN 16 卡箍, DN 25 卡箍

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制冷劑回收機(jī)

VortexDual

新款 VortexDual 將之前 Vortex 儀器經(jīng)過驗證的功能與新的擴(kuò)展功能相結(jié)合，為您提供迄今為止速度較快、體積較小且較易于使用的制冷劑回收機(jī)。

VortexDual 與眾不同之處在于，它提供一臺完整的 1 HP 雙活塞壓縮機(jī)，可在實際使用條件下實現(xiàn)較快的恢復(fù)速度。獨(dú)特的微通道冷凝器與超大風(fēng)扇相結(jié)合，有助于降低排氣壓力，從而在較熱的環(huán)境溫度下保持持續(xù)的速度。

特征

1 HP 雙活塞壓縮機(jī)，實現(xiàn)行業(yè)回收率

微通道冷凝器提供出色的熱交換，使 Vortex Dual 能夠在整個回收周期內(nèi)保持回收率

超大風(fēng)扇提供優(yōu)秀的冷卻效果

簡單的雙閥操作

用于吸入壓力和罐壓的全尺寸保護(hù)儀表

無需更換軟管即可自行清除

包括過濾器/干燥器

吸音吹塑外殼

三年柜臺更換保修

規(guī)格

單位包括：肩帶、過濾器/干燥器、6 英尺（1.8 米）可拆卸電源線

兼容制冷劑：回收常用的 CFC、HCFC 和 HFC，包括 R410A、R12、R22、R134a、R32、R404、R407C、R500、R502 和其他 III、IV 和 V 類制冷劑混合物

重量：29.75 磅（13.5 千克）

尺寸（長 x 寬 x 高）：16.7 x 9.2 x 14.2 英寸（42.4 x 23.3 x 36 厘米）

壓縮機(jī)：1 HP 無油、雙閥、交流電機(jī)驅(qū)動

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射頻傳感技術(shù)

Sion 電弧檢測器

減少晶圓損失、提高產(chǎn)量并增加正常運(yùn)行時間

等離子處理過程中的電弧會導(dǎo)致靶材和腔體損壞，進(jìn)而導(dǎo)致基材損壞和顆粒產(chǎn)生。隨著特征尺寸減小，微電子設(shè)備越來越容易受到電弧引起的損壞。電弧可能發(fā)生在任何等離子輔助工藝中，例如電離物理氣相沉積 (iPVD)、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻。INFICON Sion 電弧檢測器提供了至關(guān)重要的首道防線。Sion 可以快速檢測微弧并在發(fā)生嚴(yán)重?fù)p壞或廢料之前對其做出反應(yīng)。該系統(tǒng)可實時檢測和分析等離子微弧事件。

Sion™ RF 探測器還可通過可靠、準(zhǔn)確地確定腔室清潔終點(diǎn)，讓您在化學(xué)氣相沉積 (CVD) 和蝕刻工藝中實現(xiàn)更嚴(yán)格的控制和更高的產(chǎn)量。更準(zhǔn)確的終點(diǎn)意味著更低的晶圓上顆粒水平和更長的預(yù)防性維護(hù)周期間隔時間。

Sion 與基于光學(xué)發(fā)射光譜儀 (OES) 的控制器相比具有許多優(yōu)勢，它與 FabGuard集成和分析系統(tǒng)配合使用，可提高產(chǎn)量并減少由于腔室清潔蝕刻不足或過度而造成的時間和材料浪費(fèi)。

特征

輕松改裝現(xiàn)有工具組

非侵入式傳感器安裝

高速數(shù)據(jù)采集（250 kHz）

與 FabGuard 集成的數(shù)據(jù)管理

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真空計和控制器

TPG36x

作為用于過程測量、控制和數(shù)據(jù)記錄的多功能控制器，TPG361 和 TPG362 有源壓力表控制器旨在與各種有源緊湊型壓力表無縫配合使用。它們可高效管理和記錄從 10 -10到1500 mbar（10 -10到 1125 Torr）的廣泛壓力范圍內(nèi)的數(shù)據(jù)。

優(yōu)點(diǎn)

易于使用的點(diǎn)陣菜單界面，用于調(diào)整參數(shù)、傳感器或常規(guī)設(shè)置

清晰可見的明亮顯示屏，可遠(yuǎn)程讀取設(shè)備數(shù)據(jù)

條形圖用于可視化設(shè)定點(diǎn)或顯示隨時間變化的壓力

通過 USB 存儲設(shè)備（正面）實現(xiàn)數(shù)據(jù)記錄和參數(shù)備份功能

固件更新可在線或通過 USB 進(jìn)行

每個通道有兩個可自由定義的設(shè)定點(diǎn)，具有可調(diào)滯后

使用 16 位 A/D 轉(zhuǎn)換器進(jìn)行高精度數(shù)據(jù)評估

自動識別 INFICON 有源緊湊型壓力表

以太網(wǎng)、RS485 和 USB 接口

規(guī)格

類型：TPG361

測量通道：1

展示：液晶顯示、LED背光

速率1/秒：10

可連接儀表及顯示范圍

CMR (A/D)托：1×10 -3 ×滿量程…1×滿量程

PCR毫巴/托：5×10 -5 … 1500 / 3.75×10 -5 … 1125

TPR毫巴/托：1×10 -4 … 1000 / 7.5×10 -5 … 750

PKR毫巴 / 托：1×10 -9 … 1000 / 7.5×10 -10 … 750

IKR毫巴 / 托： 1×10 -9 … 1×10 -2 / 7.5×10 -10 … 7.5×10 -3

APR毫巴/托：0.1 … 55000 / 7.5×10 -2 … 4.125×10 4

PBR毫巴/托：5×10 -10 … 1000 / 3.75×10 -10 … 750

IMR毫巴/托：2×10 -6 … 1000 / 1.5×10 -6 … 750

測量單位（可選）：毫巴、托、帕、百帕、微米、伏特

設(shè)定點(diǎn)

設(shè)定點(diǎn)繼電器：2

通道分配：1

調(diào)整范圍：傳感器相關(guān)

滯后：可調(diào)節(jié)的

繼電器觸點(diǎn)：浮動轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)

觸點(diǎn)額定值V (ac) / A：30 / 1

觸點(diǎn)額定值V（直流）/ A：60 / 0.5

連接器：D-sub，15 針，母頭

模擬輸出

范圍Ⅴ：0…10.3，傳感器模擬輸出信號

模擬輸出：1

連接器：Amphenol C91B，7 針，母頭

接口（數(shù)字）：USB 從屬設(shè)備、主設(shè)備、以太網(wǎng)和 RS485

連接器：USB A 型（棒）、USB B 型、FCC68/RJ45、Binder M12

力量

電源電壓（交流）：100 ... 240

頻率Hz：50 ... 60

消耗量：≤45

工作溫度（環(huán)境溫度） °C：+5 ... +50

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真空元件

帶翼形螺母的夾緊環(huán)

INFICON ISO-KF 接頭根據(jù) ISO 2861/1、DIN 28403 和 Pneurop 6606 制造。INFICON的優(yōu)質(zhì)接頭是所有真空和高真空應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)組件。高品質(zhì) INFICON 組件經(jīng)過設(shè)計和測試，泄漏率低于 1 x 10 -9 mbar l/s。

優(yōu)點(diǎn)

價格有競爭力

設(shè)計和測量嚴(yán)格遵循標(biāo)準(zhǔn)

*物流

符合 2011/65/EU RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

尺寸 A：45 毫米

尺寸 B：61 毫米

尺寸 C：16 毫米

夾緊環(huán)一半：鋁 380.0

螺栓：鋼鍍鎳

堅果：鋅合金鍍鎳

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INFICON產(chǎn)品型號：

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電容薄膜真空計系列

CDG025D、CDG045D、CDG100D D1-751-2300、CDG100D D1-751-230B、CDG100D D1-753-2300、CDG100D D1-75E-2300、CDG100D D1-85E-230B、CDG100D D1-85H-230B、CDG100D D1-951-2300、CDG100D D1-951-230B、CDG016D、CDG030D、CDG100D 1Torr、CDG100D 10Torr、CDG100D 100Torr、CDG100D 1000Torr、CDG020D、CDG050D、CDG075D、CDG100D 760Torr

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皮拉尼真空計系列

PPG550、PPG570、PCG550、PGE050、PGE050 DN16、PGE050 DN25、PEG100、PEG100 DN40、PSG500、PSG502、TPR280、TPR281、TPR300、TPR301、D1-751-2300、PTR90、PTR91、PPG400、PPG401、VSA200

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氦氣檢漏儀系列

HLD MD3000、XL3000flex、HLD BR200、LDS3000、HLD6000、HLD6000+、HLD1000+、HLD2000、HLD3000、HLD4000、HLD5000、HLD Compact、HLD Pro、HLD Ultra、HLD Eco、HLD Max、HLD Mini、HLD Smart、HLD Advanced、HLD Industrial

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制冷劑檢漏儀系列

TEK-Mate、D-TEK 3、D-TEK Select、D-TEK Stratus、Compass、Compass 2、Ref-Check、Ref-Scope、Gas-Mate、Gas-Check、TEK-Pulse、TEK-Sensor、D-TEK Lite、D-TEK Pro、Refrigerant Leak Detector 718-202-G1、718-207-G1、718-601-G1、718-607-G1、TEK-Mate 705-202-G1、TEK-Mate 705-207-G1

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殘余氣體分析儀系列

Transpector XPR 3+、Transpector MXP、Transpector CPM、Transpector SPS、Transpector 2、Transpector 3、Transpector 4、RGA 100、RGA 200、RGA 300、RGA 400、RGA 500、HPR20、HPR30、HPR40、HPR50、HPR60、HPR70、HPR80、HPR90

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鍍膜控制設(shè)備系列

XTC900、SQC310、SQC310M、SQC770、SQC780、XTC/3、XTC/2、IC/5、IC/6、IC/7、Thin Film Controller 757-202、Thin Film Controller 757-207、Deposition Controller 758-202、Deposition Controller 758-207、XTC900-S、XTC900-L、SQC310-E、SQC310-P、SQC770-A、SQC770-B

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氦吸槍檢漏儀系列

Protec P3000、Protec P3000XL、Ecotec E3000、HLD Pro XL、HLD Smart XL、HLD Industrial XL、HLD Eco XL、HLD Max XL、HLD Mini XL、HLD Compact XL、HLD Advanced XL、HLD Ultra XL、HLD 6000 XL、HLD 5000 XL、HLD 4000 XL、HLD 3000 XL、HLD 2000 XL、HLD 1000+ XL、HLD MD3000 XL、HLD BR200 XL

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/冷媒檢漏儀系列

GAS-Mate、Compass、Compass 2、D-TEK Stratus、D-TEK Select、TEK-Pulse、TEK-Sensor、Gas-Check、Gas-Scope、Ref-Check、Ref-Scope、705-202-G1、705-207-G1、718-202-G1、718-207-G1、718-601-G1、718-607-G1、D-TEK Lite、D-TEK Pro、TEK-Mate Pro

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寬量程/復(fù)合真空計系列

Gemini、PCG550 3PC1-001-0000、PCG550 3PC1-001-0001、PSG55x、PSG50x、PSG550、PSG552、PCG552、BPG551、BPG553、BPG561、BPG563、PCG551、PCG553、PSG501、PSG502、PSG503、VSA200、VSA201、VSA202

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氣體分析與質(zhì)譜系列

Hapsite ER、MicroGC Fusion、MicroGC 3000、MicroGC 4000、3000 Micro GC、4000 Micro GC、HPR20 QMS、HPR30 QMS、HPR40 QMS、HPR50 QMS、HPR60 QMS、HPR70 QMS、HPR80 QMS、HPR90 QMS、Transpector CPM、Transpector SPS、Transpector 2、Transpector 3、Transpector 4、RGA 100

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鍍膜控制與配件系列

IC/5、IC/6、IC/7、XTC/3、XTC/2、SQC770-A、SQC770-B、SQC780-A、SQC780-B、XTC900-S、XTC900-L、SQC310-E、SQC310-P、RQCM 石英晶體微天平、FDC 故障檢測軟件、真空饋入裝置 VF100、真空饋入裝置 VF200、鋁質(zhì)冷媒加注表組 2路、鋁質(zhì)冷媒加注表組 4路、VGC501、VGC503